针对晶圆来料过程、出货检查，可检刮伤、污渍、剥落、破碎等不同缺陷；并以面积长、宽、大小比率、特定灰度值、特定坐标进行分类。
| 项目 | 技术参数 |
| 晶圆尺寸 | 4/6/8/12 inch & 300/310mm 方片 |
| 分辨率 | 2.25um@2X, 0.9um@5X, 0.45um@10X |
| 复检倍率 | 10倍、20倍 |
| 检测能力 | 检测重复性>98.5%、检测率>99%、过筛率<0.5% |
| 光学类型 | LED亮场+暗场微观与复检包含红、蓝、绿、白光源进行切换 |
| 检测速度 | 81@2x(200mm)/42@5x (200mm)/17@10x (200mm)/5@20x (200mm)（含100张Review） |
| 缺陷类型 | 划伤、脏污、剥落、破洞、裂纹、圈印、斑点等 |
